半導體相關應用

A&D Holon集團 為日本上市公司(TYO: 7745),半導體相關企業包括專營工控儀器的「艾安得股份有限公司」、以及專注於半導體光罩檢驗設備的「日商和隆股份有限公司」。在半導體業界,A&D Holon產品廣泛應用於半導體客戶及設備商業者。
依照製程站別,艾安得提供不同的產品,提供自動化設備業者實現精準量測、提升製程穩定度。
Ingot長晶/切割 | 光阻液/CMP用量監測 | 曝光製程 | 去光阻製程/蝕刻製程 | 晶圓表面檢測 New! | 晶圓製程結束後檢驗 | Underfill點膠製程 |
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使用A&D Load Cell量測拉力、切割力 | 使用A&D Weigh Module測量重量 | 使用Holon光罩檢驗設備檢驗光罩 | 使用A&D 荷重元及顯示器於藥劑桶槽 | 製程中利用e-beam檢驗設備檢查晶圓 | 搭配A&D 6位數天平量測重量 | 搭配 A&D Weigh Module確認點膠量 |
荷重元 重量顯示器 | 分離式天平 | 光罩/晶圓檢驗設備 HOLON CO., LTD. | 荷重元 重量顯示器 | 數位類比轉換器 高精度電子束 | 6位數微量天平 | 分離式天平 |
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艾安得股份有限公司
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